WARN: MP CURRENT HIGH
警告： MP 電流過高
Cảnh b á o: D ò ng MP qu á cao
EBARA ESA 系列
MP motor current rises.
MP 馬達電流升高。
D ò ng đ ộng cơ MP tăng.
檢查項目：Rotor makes contact. (Accumulation of by-products) (Substance plunge)
轉子進行接觸。 （副產物積累）（物質暴跌）
Rotor li ê n lạc. (T í ch luỹ c á c sản phẩm phụ) (Giảm chất)
糾正措施：Replace or overhaul pump.
更換或檢修泵。
Thay th ế hoặc bơm đ ại tu.
WARN: MP CURRENT HIGH
警告： MP 電流過高
Cảnh b á o: D ò ng MP qu á cao
EBARA ESA 系列
MP motor current rises.
MP 馬達電流升高。
D ò ng đ ộng cơ MP tăng.
檢查項目：Open phase
相位開路
Giai đ oạn mở
糾正措施：Check wiring.
檢查接線。
Kiểm tra hệ thống d â y đ iện.
WARN: ## COMM.ERROR
警告：通訊錯誤
Cảnh b á o: Lỗi giao ti ế p
EBARA ESA 系列
Communication is not established.
溝通不成立。
Giao ti ế p kh ô ng đ ược thi ế t lập.
檢查項目：Connection error of the instrumented units
儀表單元的連接錯誤
Lỗi k ế t nối của c á c thi ế t bị đ ược đ o đ ạc
糾正措施：Check the connection of the instrumented unit.
檢查儀器單元的連接。
Kiểm tra k ế t nối của thi ế t bị đ ược đ o đ ạc.
WARN: ## COMM.ERROR
警告：通訊錯誤
Cảnh b á o: Lỗi giao ti ế p
EBARA ESA 系列
Communication is not established.
溝通不成立。
Giao ti ế p kh ô ng đ ược thi ế t lập.
檢查項目：Instrument failure
儀器故障
Lỗi c ô ng cụ
糾正措施：Replace instrument.
更換儀器。
Thay th ế nhạc cụ.
WARN: PUMP BOX TEMP HIGH
警告：泵箱溫度高
CẢNH B Á O: HỘP BƠM TEMP CAO
EBARA ESA 系列
Temp. rises in pump cover.
溫度。 在泵蓋上升。
Nhiệt đ ộ. tăng trong nắp m á y bơm.
檢查項目：Duct ventilation not sufficient
管道通風不足
Th ô ng gi ó ống dẫn kh ô ng đ ủ
糾正措施：Ventilate sufficiently.
充分通風。
Th ô ng gi ó đ ầy đ ủ.
WARN:PUMP N2 VALVE ERROR
警告：泵 N2 閥錯誤
CẢNH B Á O: BƠM LỐP N2 L PI
EBARA ESA 系列
N2 valve open.
N2 閥打開。
Van N2 mở.
檢查項目：Setting is N2 0 mode.
設置是 N2 0 模式。
C à i đ ặt l à ch ế đ ộ N2 0.
糾正措施：Close N2 valve.(at the side of pump)
關閉 N2 閥（在泵側）
Đ ó ng van N2 (ở b ê n m á y bơm)
ALARM: MP CASING TEMP HIGH
報警： MP 外殼溫度過高
Báo động: MP vỏ nhiệt độ quá cao
EBARA ESA 系列
Pump casing temp. rises.
泵殼溫度上升。
Bơm vỏ temp. mọc.
檢查項目：Insufficient ventilation
通風不足
Kh ô ng đ ủ th ô ng gi ó
糾正措施：Ventilate sufficiently
充分通風
Th ô ng gi ó đ ầy đ ủ
ALARM: MP CASING TEMP HIGH
報警： MP 外殼溫度過高
Báo động: MP vỏ nhiệt độ quá cao
EBARA ESA 系列
Pump casing temp. rises.
泵殼溫度上升。
Bơm vỏ temp. mọc.
檢查項目：Pump back press. rises.
Pump 背壓上升
Bơm tăng á p trở lại
糾正措施：Check exhaust pipe &silencer.
檢查排氣管和消音器。
Kiểm tra ống xả & bộ phận giảm thanh.
ALARM: MP CASING TEMP HIGH
報警： MP 外殼溫度過高
Báo động: MP vỏ nhiệt độ quá cao
EBARA ESA 系列
Pump casing temp. rises.
泵殼溫度上升。
Bơm vỏ temp. mọc.
檢查項目：Increase of the gas load.
增加氣體負荷。
Tăng tải kh í .
糾正措施：Reduce the inflow gas amount.
減少流入氣體量。
Giảm lượng kh í v à o.
ALARM: MP CASING TEMP HIGH
報警： MP 外殼溫度過高
Báo động: MP vỏ nhiệt độ quá cao
EBARA ESA 系列
Pump casing temp. rises.
泵殼溫度上升。
Bơm vỏ temp. mọc.
檢查項目：Cooling water flow is reduced.
冷卻水流量減少。
Lưu lượng nước l à m m á t giảm.
糾正措施：Cool pump thoroughly and reset.
徹底冷卻泵並重置。
M á t bơm triệt đ ể v à đ ặt lại.
ALARM: MP CASING TEMP HIGH
報警： MP 外殼溫度過高
Báo động: MP vỏ nhiệt độ quá cao
EBARA ESA 系列
Pump casing temp. rises.
泵殼溫度上升。
Bơm vỏ temp. mọc.
檢查項目：Accumulation of by-products
副產品的積累
T í ch lũy phụ phẩm
糾正措施：Replace or overhaul pump.
更換或檢修泵。
Thay th ế hoặc bơm đ ại tu.
ALARM:MP MOTOR TEMP H.HIGH
報警： MP 馬達溫故過高
B á o đ ộng: MP đ ộng cơ nhiệt đ ộ qu á cao
EBARA ESA 系列
Main Pump (MP) motor coil temp. rises.
主泵（ MP ）馬達線圈溫度上升。
Nhiệt đ ộ của cuộn d â y đ ộng cơ bơm ch í nh (MP) tăng l ê n.
檢查項目：Cooling water flow is reduced.
冷卻水流量減少。
Lưu lượng nước l à m m á t giảm.
糾正措施：Cool pump thoroughly and reset.
徹底冷卻泵並重置。
M á t bơm triệt đ ể v à đ ặt lại.
ALARM:MP MOTOR TEMP H.HIGH
報警： MP 馬達溫故過高
B á o đ ộng: MP đ ộng cơ nhiệt đ ộ qu á cao
EBARA ESA 系列
Main Pump (MP) motor coil temp. rises.
主泵（ MP ）馬達線圈溫度上升。
Nhiệt đ ộ của cuộn d â y đ ộng cơ bơm ch í nh (MP) tăng l ê n.
檢查項目：Motor failure
馬達故障
Lỗi đ ộng cơ
糾正措施：Replace or overhaul pump.
更換或檢修泵。
Thay th ế hoặc bơm đ ại tu.
ALARM:MP MOTOR TEMP H.HIGH
報警： MP 馬達溫故過高
B á o đ ộng: MP đ ộng cơ nhiệt đ ộ qu á cao
EBARA ESA 系列
Main Pump (MP) motor coil temp. rises.
主泵（ MP ）馬達線圈溫度上升。
Nhiệt đ ộ của cuộn d â y đ ộng cơ bơm ch í nh (MP) tăng l ê n.
檢查項目：Open phase
相位開路
Giai đ oạn mở
糾正措施：Check wiring.
檢查接線。
Kiểm tra hệ thống d â y đ iện.
ALARM:MP NO CURRENT
報警： MP 無電流
B á o đ ộng: MP kh ô ng c ó hiện tại
EBARA ESA 系列
No current.
無電流
Kh ô ng c ó hiện tại
檢查項目：Incorrect wiring
錯誤的接線
D â y kh ô ng ch í nh x á c
糾正措施：Check wiring.
檢查接線。
Kiểm tra hệ thống d â y đ iện.
ALARM:MP NO CURRENT
報警： MP 無電流
B á o đ ộng: MP kh ô ng c ó hiện tại
EBARA ESA 系列
No current.
無電流
Kh ô ng c ó hiện tại
檢查項目：Open phase
相位開路
Giai đ oạn mở
糾正措施：Check wiring.
檢查接線。
Kiểm tra hệ thống d â y đ iện.
ALARM:BACK PRESS HIGH
報警：背壓過高
B á o đ ộng: á p lực trở lại qu á cao
EBARA ESA 系列
Exhaust pressure rises.
背壓上升
Trở lại á p lực tăng
檢查項目：Exhaust valve is closed.
排氣閥關閉。
Van xả đ ược đ ó ng lại.
糾正措施：Check exhaust pipe.
檢查排氣管。
Kiểm tra ống xả.
ALARM:BACK PRESS HIGH
報警：背壓過高
B á o đ ộng: á p lực trở lại qu á cao
EBARA ESA 系列
Exhaust pressure rises.
背壓上升
Trở lại á p lực tăng
檢查項目：Instrument failure
儀器故障
Lỗi c ô ng cụ
糾正措施：Replace instrument.
更換儀器。
Thay th ế nhạc cụ.
ALARM:EMERGENCY OFF
報警：緊急關閉
Báo thức: Tắt máy khẩn cấp
EBARA ESA 系列
Input the emergency stop switch.
輸入緊急停止開關。
Nhập c ô ng tắc dừng khẩn cấp.
檢查項目：Stop by emergency Stop switch.
緊急停止開關。
Dừng bằng c ô ng tắc Dừng khẩn cấp.
糾正措施：Check that pump can be operated and turn the button head to release lock.
檢查是否可以操作泵，然後轉動按鈕頭以釋放鎖定。
Kiểm tra xem m á y bơm c ó thể đ ược vận h à nh hay kh ô ng v à xoay đ ầu n ú t đ ể nhả kh ó a.
ALARM:IO COMM.ERROR
報警：IO通訊錯誤
Cảnh báo: Lỗi giao tiếp IO
EBARA ESA 系列
Communication is not established.
溝通不成立。
Giao ti ế p kh ô ng đ ược thi ế t lập.
檢查項目：Connection error of the instrumented units
儀表單元的連接錯誤
Lỗi k ế t nối của c á c thi ế t bị đ ược đ o đ ạc
糾正措施：Check the connection of the instrumented unit.
檢查儀器單元的連接。
Kiểm tra k ế t nối của thi ế t bị đ ược đ o đ ạc.