ALARM 5610 EXHAUST TEMP LOW
EDWARDS iQDP 系列
EXHAUST TEMP LOW CHECK EXHAUST
Refer to the recommended actions for error number 5609: see Table 6-2.
有關錯誤編號5609的信息,請參閱推薦的操作:請參閱表6-2。
Tham khảo các hành động được đề nghị cho lỗi số 5609: xem Bảng 6-2.
ALARM 5710 QDP TEMP LOW
EDWARDS iQDP 系列
TCV SET LOW ADJUST TCV
Refer to the recommended actions for error number 5709: see Table 6-2.
有關錯誤編號5709的信息,請參閱推薦的操作:請參閱表6-2。
Tham khảo các hành động được đề nghị cho lỗi số 5709: xem Bảng 6-2.
ALARM 5712 QDP TEMP HIGH
EDWARDS iQDP 系列
TCV SET HIGH ADJUST TCV
Refer to the recommended actions for error number 5711: see Table 6-2.
有關錯誤編號5711的信息,請參閱推薦的操作:請參閱表6-2。
Tham khảo các hành động được đề nghị cho lỗi số 5711: xem Bảng 6-2.
Warning 1.01 Power interrupt
EDWARDS iXH 系列
Check pwr supply
檢查電源
Kiểm tra nguồn đ iện
可能原因:There has been a brownout of the electrical supply to the pump lasting more than 1 second.
持續 1 秒以上的泵電源供電已經停止。
Đ ã c ó một nguồn cung cấp đ iện cho m á y bơm k é o d à i hơn 1 gi â y.
處理方式:Check the electrical supply
檢查電源
Kiểm tra nguồn đ iện
Warning 31.13 Gas missing
EDWARDS iXH 系列
See manual
參見手冊
Xem thủ c ô ng
可能原因:The gas module is not communicating with the pump controller.
氣體模塊不與泵控制器通信。
M ô - đ un kh í kh ô ng giao ti ế p với bộ đ i ề u khiển m á y bơm.
處理方式:Contact Edwards.
聯繫愛德華茲。
Li ê n hệ với Edwards.
Warning 31.01 SYS CONFIG FAULT
EDWARDS iXH 系列
See manual
參見手冊
Xem thủ công
可能原因:The wrong type of gas module has been fitted.
安裝了錯誤類型的氣體模塊。
Loại m ô - đ un kh í sai đ ã đ ược lắp đ ặt.
處理方式:Contact Edwards.
聯繫愛德華茲。
Liên hệ với Edwards.
Warning 35.10 N2 Purge Low
EDWARDS iXH 系列
Check N2 supply
檢查 N2 供應
Kiểm tra nguồn cung cấp N2
可能原因:The Nitrogen supply flow rate is too low
氮氣供應流量太低
Tốc độ dòng cung cấp Nitơ quá thấp
the supply might not be connected or switched on
電源可能未連接或打開
nguồn cung cấp có thể không được k ế t nối hoặc bật
the supply line or filter may be blocked
供應管線或過濾器可能被堵塞
đường cung cấp hoặc bộ lọc có thể bị chặn
處理方式:Check the Nitrogen supply is connected and switched on and that pipelines and filters are not blocked.
檢查氮氣供應是否連接並打開,管路和過濾器是否堵塞。
Kiểm tra nguồn cung cấp Nitơ được k ế t nối và bật và các đường ống và bộ lọc không bị chặn.
Warning 35.11 N2 Purge High
EDWARDS iXH 系列
Check Gas Module
檢查氣體模塊
Kiểm tra mô-đun khí
可能原因:The Nitrogen supply flow rate is too high
氮氣供應流量過高
Tốc độ dòng cung cấp Nit ơ quá cao
the gas module and PDT settings do not match (for iXH Single Mode or Single Mode+)
氣體模塊和 PDT 設置不匹配(對於 iXH 單模或單模 + )
cài đặt mô-đun khí và PDT không khớp (đối với ch ế độ đ ơ n iXH hoặc Ch ế độ đ ơ n +)
the gas module may be faulty
氣體模塊可能有故障
mô-đun khí có thể bị lỗi
處理方式:Check the gas module and PDT settings, refer to Section 5.6.
檢查氣體模塊和 PDT 設置,參見第 5.6 節。
Kiểm tra cài đặt mô-đun khí và PDT, tham khảo Mục 5.6.
Contact Edwards.
聯繫愛德華茲。
Liên hệ với Edwards.
Warning 35.13 Sensor missing
EDWARDS iXH 系列
-
可能原因:The transducer is disconnected or has failed.
傳感器斷開連接或發生故障。
Bộ chuyển đ ổi bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng.
處理方式:Contact Edwards.
聯繫愛德華茲。
Liên hệ với Edwards.
Warning 39.11 Exh Press High
EDWARDS iXH 系列
Exhaust Blocked
Service Pump
排氣阻塞的服務泵
Exhaust BlockedService Pump
可能原因:The pressure in the exhaust pipeline is too high.
排氣管道中的壓力太高。
Á p lực trong đ ư ờng ống xả qu á cao.
A valve in the pipeline may be shut.
管道中的閥門可能會關閉。
Một van trong đ ư ờng ống có thể bị đóng.
There may be process debris or condensation in the exhaust pipeline.
排氣管道中可能存在過程碎屑或凝結物。
Có thể có các mảnh vụn hoặc quá trình ng ư ng tụ trong ống xả.
You may have too many pumping systems connected to the exhaust pipeline.
您可能有太多抽氣系統連接到排氣管道。
Bạn có thể có quá nhi ề u hệ thống b ơ m k ế t nối với đ ư ờng ống xả.
處理方式:Refer to Section 4.5 to determine the exhaust pressure
that triggered the warning.
請參閱第 4.5 節,確定觸發警告的排氣壓力。
Tham khảo Mục 4.5 đ ể x á c đ ịnh á p suất kh í thải đ ã k í ch hoạt cảnh b á o.
Check that all valves in the exhaust line are open and consider whether process debris or condensation are likely.
檢查排氣管路中的所有閥門是否打開,並考慮是否有過程碎屑或冷凝物。
Kiểm tra xem tất cả các van trong đường ống xả có đang mở hay không và xem xét liệu các mảnh vụn hoặc quá trình ngưng tụ có thể xảy ra hay không.
Warning 39.13 Sensor missing
EDWARDS iXH 系列
-
可能原因:The exhaust pressure transducer is not fitted, or is disconnected or has failed.
排氣壓力傳感器未安裝,或已斷開連接或發生故障。
Bộ chuyển đ ổi á p suất kh í thải kh ô ng đ ược lắp hoặc bị ngắt k ế t nối hoặc bị hỏng.
處理方式:Contact Edwards.
聯繫愛德華茲。
Liên hệ với Edwards.
Warning 51.13 Sup Missing
EDWARDS iXH 系列
See manual
參見手冊
Xem thủ công
可能原因:There is a communication problem within the pump controller. Refer to Section A2.4.1 for more information.
泵控制器內部存在通信問題。 有關更多信息,請參閱第 A2.4.1 節。
C ó một vấn đ ề giao ti ế p trong bộ đ i ề u khiển m á y bơm. Tham khảo Mục A2.4.1 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin.
處理方式:Cycle the power to the pump. If the warning persists, contact Edwards to replace the pump controller.
循環泵的電源。 如果警告仍然存在,請聯繫 Edwards 以更換泵控制器。
Chu kỳ c ô ng suất cho m á y bơm. N ế u cảnh b á o vẫn c ò n, h ã y li ê n hệ với Edwards đ ể thay th ế bộ đ i ề u khiển m á y bơm.
Warning 54.11 MB Temp High
EDWARDS iXH 系列
See manual
參見手冊
Xem thủ công
可能原因:The temperature of the booster pump is too high.
增壓泵的溫度過高。
Nhiệt đ ộ của bơm t ă ng á p qu á cao.
處理方式:Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
檢查冷卻水是否已連接,打開並符合第 2.6 節中的規定。
Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6.
Warning 54.13 Sensor missing
EDWARDS iXH 系列
-
可能原因:The booster temperature sensor may have become disconnected or failed.
升壓器溫度傳感器可能已經斷開或失效。
Cảm bi ế n nhiệt đ ộ t ă ng cường c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng.
處理方式:Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
檢查傳感器是否安裝並正確連接。
Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa.
Warning 55.13 Sensor missing
EDWARDS iXH 系列
-
可能原因:The dry pump temperature sensor may have become disconnected or failed.
乾泵溫度傳感器可能已經斷開或失效。
Cảm bi ế n nhiệt đ ộ m á y bơm kh ô c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng.
處理方式:Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
檢查傳感器是否安裝並正確連接。
Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa.
Warning 57.11 DP E/C Temp High
EDWARDS iXH 系列
See manual
參見手冊
Xem thủ công
可能原因:The temperature of the dry pump end cover is too high.
乾泵端蓋的溫度過高。
Nhiệt đ ộ của nắp đ ầu bơm kh ô qu á cao.
處理方式:Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
檢查冷卻水是否已連接,打開並符合第 2.6 節中的規定。
Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6.
Warning 57.13 Sensor missing
EDWARDS iXH 系列
-
可能原因:The dry pump end cover temperature sensor may have become disconnected or failed.
乾泵端蓋溫度傳感器可能已斷開連接或發生故障。
Cảm bi ế n nhiệt đ ộ bao gồm đ ầu bơm kh ô c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng.
處理方式:Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
檢查傳感器是否安裝並正確連接。
Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa.
Warning 62.11 MB E/C Temp High
EDWARDS iXH 系列
See manual
參見手冊
Xem thủ công
可能原因:The temperature of the booster end cover is too high.
增壓器端蓋的溫度過高。
Nhiệt đ ộ của nắp đ ầu cuối t ă ng c ư ờng qu á cao.
處理方式:Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
檢查冷卻水是否已連接,打開並符合第 2.6 節中的規定。
Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6.
Warning 62.13 Sensor missing
EDWARDS iXH 系列
-
可能原因:The booster end cover temperature sensor may have become disconnected or failed.
增壓器端蓋溫度傳感器可能已經斷開或失效。
Bộ cảm bi ế n nhiệt đ ộ bao gồm đ ầu cuối t ă ng cường c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng.
處理方式:Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
檢查傳感器是否安裝並正確連接。
Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa.
Warning 63.11 DP Temp High
EDWARDS iXH 系列
See manual
參見手冊
Xem thủ công
可能原因:The internal temperature of the pump is too high.
泵的內部溫度過高。
Nhiệt đ ộ b ê n trong của m á y bơm qu á cao.
處理方式:Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
檢查冷卻水是否已連接,打開並符合第 2.6 節中的規定。
Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6.