WARNING 3113
EDWARDS iQDP 系列
There is a fault in the ADC (analogue-to- digital convertor) in the Gas Module; the ADC must be replaced.
氣體模塊中的ADC（模數轉換器）存在故障; 必須更換ADC。
Có lỗi trong ADC (bộ chuyển đổi tín hiệu tương tự) trong Mô-đun Gas; ADC phải được thay thế.
WARNING 3201
EDWARDS iQDP 系列
(a) the Gas Module flow transducers have drifted outside the valid range allowed for zeroing, or (b) you cannot zero the transducers because the nitrogen purge is switched on or the iQDP pump is on.
（a）氣體模塊流量傳感器漂移到允許歸零的有效範圍之外，或（b）由於氮氣吹掃打開或iQDP泵打開，您無法歸零傳感器。
(a) đầu dò dòng khí Mô-đun đã trôi dạt bên ngoài phạm vi hợp lệ được phép cho zeroing, hoặc (b) bạn không thể là bộ chuyển đổi vì bộ lọc nitơ được bật hoặc bơm iQDP được bật.
WARNING 3209 FINAL ST FLOW LO
EDWARDS iQDP 系列
PIPE BLOCKED SERVICE PUMP
The final stage gas flow is too low. The gas pipe to the shaft-seals may be blocked or a transducer may have failed.
最終階段的氣體流量太低。 軸封的氣管可能被堵塞或換能器可能失效。
Dòng khí cuối cùng quá thấp. Đường ống dẫn khí vào trục có thể bị chặn hoặc bộ chuyển đổi có thể bị hỏng.
WARNING 3209 FINAL ST FLOW LO
EDWARDS iQDP 系列
N2 SUPPLY OFF
The nitrogen supply is switched off or below the pressure specified in Section 2. Check and rectify as necessary.
氮氣供應關閉或低於第2部分規定的壓力。檢查並根據需要進行糾正。
Nguồn cung cấp nitơ được tắt hoặc dưới áp suất được chỉ định trong Mục 2. Kiểm tra và khắc phục khi cần thiết.
WARNING 3209 FINAL ST FLOW LO
EDWARDS iQDP 系列
ADJUST REGULATOR INCREASE PRESS
The shaft-seals purge pressure is too low. Check that the nitrogen supply is as specified in Section 2 and that you have correctly adjusted the pressure: refer to Section 3.22. If you cannot correctly adjust the pressure, the regulator may be faulty.
軸封清洗壓力太低。 檢查氮氣供應是否符合第2部分的規定，並且您已經正確調整了壓力：參見第3.22節。 如果您無法正確調整壓力，則調節器可能有故障。
Áp suất làm sạch trục con dấu quá thấp. Kiểm tra xem nguồn cung cấp nitơ có được chỉ định trong Phần 2 và bạn đã điều chỉnh áp suất chính xác hay không: tham khảo Mục 3.22. Nếu bạn không thể điều chỉnh áp suất một cách chính xác, bộ điều chỉnh có thể bị lỗi.
WARNING 3209 FINAL ST FLOW LO
EDWARDS iQDP 系列
HIGH INLET PRESS N2 FLOW MAY DROP
The iQ system has been running for an extended period with a higher than normal inlet pressure. This may affect purge flow rates but they should return to normal when the inlet pressure is reduced.
iQ系統長時間運行並且入口壓力高於正常值。 這可能會影響吹掃流量，但當入口壓力降低時，它們應該恢復正常。
Hệ thống iQ đã hoạt động trong một thời gian dài với áp suất đầu vào cao hơn bình thường. Điều này có thể ảnh hưởng đến tốc độ dòng chảy thanh lọc nhưng chúng sẽ trở lại bình thường khi áp suất đầu vào giảm.
WARNING 3209 FINAL ST FLOW LO
EDWARDS iQDP 系列
3/4 STAGE BLOCK SERVICE PUMP
The 3/4-interstage purge pipeline or restrictor may be blocked or the restrictor may be too small, or the variable restrictor may need adjustment.
3/4級間清洗管路或限流器可能被堵塞或限流器可能太小，或者可變限流器可能需要調整。
Đường ống dẫn tinh khiết 3/4-interstage hoặc bộ khống chế có thể bị chặn hoặc bộ hạn chế có thể quá nhỏ hoặc bộ biến tần có thể cần điều chỉnh.
WARNING 3210 FINAL ST FLOW LO
EDWARDS iQDP 系列
PIPE BLOCKED SERVICE PUMP
Refer to the recommended actions for error number 3209 in this table.
請參閱本表中錯誤號3209的建議措施。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho số lỗi 3209 trong bảng này.
WARNING 3211 FINAL ST FLOW HI
EDWARDS iQDP 系列
ADJUST REGULATOR REDUCE PRESSURE
Refer to the recommended actions for error number 4011 in this table.
請參閱本表中錯誤編號4011的建議措施。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho lỗi số 4011 trong bảng này.
WARNING 3211 FINAL ST FLOW HI
EDWARDS iQDP 系列
3/4 I/STAGE HIGH CHECK RESTRICTOR
The 3/4-interstage purge flow rate is too high. Check that the purge restrictor is fitted correctly and is the correct size. The purge variable restrictor may be used to reduce the flow rate.
3/4級間淨化流量過高。 檢查清洗限流器是否安裝正確，尺寸是否正確。 吹掃可變節流器可以用於降低流量。
Tốc độ dòng chảy của luồng 3/4-interstage quá cao. Kiểm tra rằng bộ khống chế thanh lọc được lắp đúng và có đúng kích cỡ không. Bộ hạn chế biến tinh khiết có thể được sử dụng để giảm tốc độ dòng chảy.
WARNING 3211 FINAL ST FLOW HI
EDWARDS iQDP 系列
SS FLOW HIGH SERVICE PUMP
The shaft-seals purge flow rate is too high and the pump may need to be serviced.
軸封清洗流量過高，泵可能需要維修。
Tốc độ dòng chảy của trục-máy bơm quá cao và máy bơm có thể cần được bảo dưỡng.
WARNING 3212 FINAL ST FLOW HI
EDWARDS iQDP 系列
FLOW HIGH
CHECK GAS MODULE
Refer to the recommended actions for error number 3211 in this table.
請參閱本表中錯誤編號3211的推薦操作。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho số lỗi 3211 trong bảng này.
WARNING 3213
EDWARDS iQDP 系列
The final stage flow sensor is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
末級流量傳感器未安裝，或者斷開連接或發生故障。 必要時檢查並糾正。
Cảm biến lưu lượng giai đoạn cuối cùng không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc không thành công. Kiểm tra và sửa chữa khi cần thiết.
WARNING 3509 AUX FLOW LOW
EDWARDS iQDP 系列
N2 SUPPLY OFF
The nitrogen supply is switched off or below the pressure specified in Section 2. Check and rectify as necessary.
氮氣供應關閉或低於第2部分規定的壓力。檢查並根據需要進行糾正。
Nguồn cung cấp nitơ được tắt hoặc dưới áp suất được chỉ định trong Mục 2. Kiểm tra và khắc phục khi cần thiết.
WARNING 3509 AUX FLOW LOW
EDWARDS iQDP 系列
ADJUST REGULATOR INCREASE PRESS
The shaft-seals purge pressure is too low. Check that the nitrogen supply is as specified in Section 2 and that you have correctly adjusted the pressure: refer to Section 3.22. If you cannot correctly adjust the pressure, the regulator may be faulty.
軸封清洗壓力太低。 檢查氮氣供應是否符合第2部分的規定，並且您已經正確調整了壓力：參見第3.22節。 如果您無法正確調整壓力，則調節器可能有故障。
Áp suất làm sạch trục con dấu quá thấp. Kiểm tra xem nguồn cung cấp nitơ có được chỉ định trong Phần 2 và bạn đã điều chỉnh áp suất chính xác hay không: tham khảo Mục 3.22. Nếu bạn không thể điều chỉnh áp suất một cách chính xác, bộ điều chỉnh có thể bị lỗi.
WARNING 3509 AUX FLOW LOW
EDWARDS iQDP 系列
HIGH INLET PRESS N2 FLOW MAY DROP
The iQ system has been running for an extended period with a higher than normal inlet pressure. This may affect purge flow rates but they should return to normal when the inlet pressure is reduced.
iQ系統長時間運行並且入口壓力高於正常值。 這可能會影響吹掃流量，但當入口壓力降低時，它們應該恢復正常。
Hệ thống iQ đã hoạt động trong một thời gian dài với áp suất đầu vào cao hơn bình thường. Điều này có thể ảnh hưởng đến tốc độ dòng chảy thanh lọc nhưng chúng sẽ trở lại bình thường khi áp suất đầu vào giảm.
WARNING 3509 AUX FLOW LOW
EDWARDS iQDP 系列
2/3 STAGE BLOCK SERVICE PUMP
The 2/3-interstage purge pipeline or restrictor may be blocked or the restrictor may be too small or the variable restrictor may need adjustment.
2/3級間清洗管路或限流器可能被堵塞，或者限流器可能太小或可變限流器可能需要調整。
Đường ống dẫn hoặc đường hầm có thể bị chặn 2/3-interstage có thể bị chặn hoặc bộ hạn chế có thể quá nhỏ hoặc bộ biến tần có thể cần điều chỉnh.
WARNING 3509 AUX FLOW LOW
EDWARDS iQDP 系列
EXHAUST BLOCKED SERVICE PUMP
The pressure in the exhaust pipeline is too high. There may be process debris or condensation in the exhaust pipeline, exhaust- purge pipeline or restrictor, or a valve in the pipeline may be shut. You may have too many pumping systems connected to the exhaust pipeline.
排氣管道中的壓力太高。 排氣管道，排氣管道或限流器內可能存在過程碎片或凝結物，或者管道中的閥門可能會關閉。 您可能有太多抽氣系統連接到排氣管道。
Áp lực trong đường ống xả quá cao. Có thể có các mảnh vụn hoặc quá trình ngưng tụ trong đường ống xả, đường ống xả khí thải hoặc bộ khống chế hoặc van trong đường ống có thể bị đóng. Bạn có thể có quá nhiều hệ thống bơm kết nối với đường ống xả.
WARNING 3509 AUX FLOW LOW
EDWARDS iQDP 系列
INLET PURGE BLOCK SERVICE PUMP
The inlet-purge pipeline or restrictor may be too small or be blocked.
入口 - 清洗管路或限流器可能太小或被堵塞。
Đường ống đầu vào hoặc thiết bị hạn chế có thể quá nhỏ hoặc bị chặn.
WARNING 3510 AUX FLOW
EDWARDS iQDP 系列
PIPE BLOCKED SERVICE PUMP
Refer to the recommended actions for error number 3509 in this table.
請參閱本表中錯誤號3509的建議措施。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho số lỗi 3509 trong bảng này.